Arbetsprincip för vakuumbeläggningsmaskin

En vakuumbeläggningsmaskin är en anordning som avsätter tunna metallfilmer på ytan av ett substrat.Dess grundläggande arbetsprincip är uppdelad i tre steg: rengöring, förångning och deponering.
1. Rengöring
Innan avdunstningsdeponeringen måste förångningskammaren rengöras.Eftersom det kan finnas oxider, fett, damm och andra ämnen fästa på ytan av förångningskammaren, kommer dessa att påverka filmens kvalitet.Rengöring använder vanligtvis kemiska eller fysikaliska metoder.
2. avdunstning
Det önskade materialet värms över sin smältpunkt så att det bildar gasformiga molekyler.De gasformiga molekylerna förs sedan ut i vakuumkammaren in i förångningskammaren.Denna process kallas avdunstning.Temperaturen, trycket och avdunstningshastigheten påverkar filmens sammansättning, struktur och egenskaper.
3. Deponering
De gasformiga molekylerna av materialet i förångningskammaren kommer in i reaktionskammaren genom vakuumröret, reagerar med det aktiva materialet och avsätter sedan produkten på ytan av substratet.Denna process kallas sedimentering.Temperaturen, trycket och avsättningshastigheten påverkar också filmens kvalitet och prestanda.
2. Ansökan
Vakuumbeläggningsmaskiner används ofta inom materialvetenskap, optik, elektronik och andra områden.
1. Materialvetenskap
Vakuumbeläggningsmaskiner kan förbereda tunna filmer av olika metaller, legeringar, oxider, silikater och andra material, och används ofta i beläggningar, optiska filmer, optisk lagring, displayer, transistorer och andra områden.
2. Optik
Vakuumbeläggningsmaskinen kan förbereda metall- och legeringsfilmer med hög reflektivitet och optiska filmer med speciella funktioner.Dessa filmer kan användas i solpaneler, högpresterande elektronmikroskop, aerogeler, UV/IR-sensorer, optiska filter och andra områden.
3. Elektronik
Vakuumbeläggningsmaskiner kan förbereda elektroniska material och mikroelektroniska enheter i nanoskala.Dessa filmer kan användas i nanotransistorer, magnetiska minnen, sensorer och andra fält.
Kort sagt kan vakuumbeläggningsmaskinen inte bara förbereda olika tunnfilmsmaterial, utan också förbereda tunna filmer med speciella funktioner efter behov.I framtiden kommer vakuumbeläggningsteknik att användas mer och främjas.